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離子束反應(yīng)濺射系統(tǒng)

發(fā)布時(shí)間:2012-01-17

 

/Files/UploadFiles/ttmn.COM/2011/11/20111108-032418-269.gif離子束反應(yīng)濺射系統(tǒng)
 

Intlvac的Nanoquest系統(tǒng)是薄膜和材料研究的一個(gè)通用研發(fā)平臺(tái).該系統(tǒng)是直徑為4”單基板的最優(yōu)選擇. Nanoquest平臺(tái)可允許:離子束蝕刻, 離子束濺射,離子輔助蒸發(fā),以及離子輔助濺射都在同一平臺(tái) 上運(yùn)行.獨(dú)特的設(shè)計(jì)與基板臺(tái),允許基板以360度的傾斜和旋轉(zhuǎn)進(jìn)行冷卻或加熱。該系統(tǒng)是安裝在一個(gè)壓縮的整塊鋼架上,鋼架上帶有一個(gè)整體電子機(jī)架,以盡量減少實(shí)驗(yàn)室或無(wú)塵室的空間。高真空的設(shè)計(jì)理念確保了快速周期時(shí)間和最低壓力的性能。超高壓氣體分布確保了離子源操作的穩(wěn)定性。

高真空泵:
閉合式循環(huán)泵與氦低溫泵或渦輪增壓拖動(dòng)泵以及干式低真空泵一起使用使得系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了完全無(wú)油。
標(biāo)準(zhǔn)配置:
·尺寸:直徑為20,長(zhǎng)為20的氣缸,裝有鉸接前門(mén)和焊接不銹鋼冷卻通道?;迮_(tái)是安裝的門(mén)。
·不銹鋼架和完整的儀器架。機(jī)架固定在觸摸屏PLC控制器上,用于自動(dòng)抽水,壓力控制,氣體流量控制,以及離子源的操作。
Nanoquest 1400R
·用于反應(yīng)氣體操作的蝕刻系統(tǒng):O2, N2
·除了為電子源使用一個(gè)空心陰極,或等離子中和劑之外,基本與惰性氣體系統(tǒng)類(lèi)似.

Nanoquest 1400
·為惰性氣體操作而設(shè)計(jì)的蝕刻系統(tǒng)
·該系統(tǒng)有用于4,8或者14厘米離子源,DC或者14厘米RF離子源。
操作的離子源孔.
高流量,直接水冷2704階段與用于四分之一晶圓和晶圓壓板的干夾頭安裝。0 - 7rpm的階段旋轉(zhuǎn),帶手動(dòng)角度傾斜。20 sccm超高壓氬氣線的氣體流量控制。

 

 

公司介紹:

愛(ài)派克公司成立于1999 年,從事國(guó)際領(lǐng)先測(cè)試技術(shù)和產(chǎn)品的代理業(yè)務(wù),為國(guó)內(nèi)主要的科研單位、高等院校、檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及為數(shù)眾多的軍工企業(yè)、汽車(chē)企業(yè)、電子企業(yè)、裝備工業(yè)、外資企業(yè)、新能源領(lǐng)域提供全球領(lǐng)先的測(cè)試產(chǎn)品、檢測(cè)技術(shù)和售后服務(wù)。

Excellent 卓越的品質(zhì):

“匯集世界- 惠及中國(guó)”是愛(ài)派克公司的使命,我們致力于引進(jìn)全球最領(lǐng)先的測(cè)試技術(shù)和檢測(cè)設(shè)備,形成我們具備核心競(jìng)爭(zhēng)力的集成解決方案;今天愛(ài)派克已經(jīng)成為八個(gè)國(guó)家的十多家公司在中國(guó)的合作伙伴。這些全球最知名的檢測(cè)設(shè)備制造商采用最新的科技和最先進(jìn)的設(shè)備為中國(guó)客戶提供最先進(jìn)的技術(shù)和專(zhuān)業(yè)的服務(wù),提供高可靠性的產(chǎn)品和解決方案。

Professional 專(zhuān)業(yè)的團(tuán)隊(duì):

公司的技術(shù)團(tuán)隊(duì)由具有海外教育背景的博士、碩士和經(jīng)過(guò)國(guó)外廠商專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)的資深工程師組成,具有極高的專(zhuān)業(yè)素質(zhì),為重點(diǎn)客戶提供長(zhǎng)期、專(zhuān)業(yè)、全方位的技術(shù)服務(wù)。

 Comprehensive 全面的服務(wù):

 愛(ài)派克公司在北京、上海、廣州、西安和香港設(shè)有分公司和辦事處服務(wù)全國(guó)用戶。公司提供的服務(wù)包括:檢測(cè)咨詢、方案設(shè)計(jì)、實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃、產(chǎn)品銷(xiāo)售、培訓(xùn)服務(wù)、設(shè)備維護(hù)、升級(jí)改造、檢測(cè)服務(wù);以及根據(jù)客戶需求進(jìn)行新產(chǎn)品的研發(fā)和定制。

Original 創(chuàng)新的理念:

 創(chuàng)新是企業(yè)發(fā)展的動(dòng)力,愛(ài)派克公司將廠商、用戶融入到公司創(chuàng)新體系中,形成最為和諧的創(chuàng)新利益結(jié)合體;通過(guò)不斷地進(jìn)行組織創(chuàng)新提供更好的服務(wù)團(tuán)隊(duì),產(chǎn)品創(chuàng)新提供最好的設(shè)備,服務(wù)創(chuàng)新提供更及時(shí)的服務(wù),利益鏈創(chuàng)新能夠把廠商、用戶和公司有效地鏈接形成共贏的團(tuán)體。